一、室內工作人員

潔凈室內的工作人員是最大的污染源之一。人員的發塵是室內空氣污染源的最主要來源，占80%~90%。即使是一個經過風淋的潔凈室工作人員，當他坐著時，每分鐘也可釋放十萬到一百萬個顆粒。當人員移動時，這個數字還會大幅增加。當一個人以每小時兩英里的速走動時，他每分鐘釋放高達五百萬個顆粒，這些顆粒都是來自壞死的皮膚和脫落的頭發。另外眼睛也是產生液態微粒的主要來源，人員應該戴好安全眼鏡。

人員穿著的潔凈服，也會給潔凈室增加上百萬個微粒。在潔凈度非常高的潔凈室內，操作員只能穿無脫落材料而且編制緊密的衣服。而用毛線和棉線編織的衣服則被禁止，而且潔凈服要制成高領長袖口的。人類的呼吸也包含著大量的污染，每次呼氣向空中排出大量的水汽和微粒。而如果是吸煙者更甚，在吸煙后的很長一段時間里仍能帶有上百萬的微粒。另外還有體液，健康的人是許多污染的污染源，而生病的人就更加嚴重了。特別是皮疹和呼吸傳染病患者還會產生額外的污染源。

二、原材料及包裝

對進入的設備、材料以及容器、包裝等的預清潔、拆包地點和方法，以及進入潔凈室的程序等，都應該按照潔凈室管理的相關規范執行。但即使嚴格按照相關規范和程序操作，仍然難以完全杜絕粘附在原材料、容器、包裝，特別是一些難以徹底清潔的產品的細小組件上的污染物被帶入潔凈室。它們構成了生產過程中的又一個重要污染源，而在這一點上往往容易被忽略。出現問題時，通常會把注意力放在尋找空調凈化系統的缺陷上。

三、與潔凈室相鄰的非潔凈區域

與潔凈室周邊相鄰或相通的非潔凈區域，由于人員、材料的進出攜帶的污染空氣，或沉降在人員、物料上的污染物被帶入，是影響室內潔凈度的另一個重要污染來源。合理的正壓差是減少通過傳遞窗、門、傳送帶開口等孔洞侵入污染空氣的重要措施。另外設在門口的緩沖室、風淋室也有一定作用。但要想完全避免周邊污染區域對潔凈室環境的干擾與影響也是極為困難的，特別是潔凈室在外門附近的區域。

四、設備及工藝發塵

設備的產塵以轉動設備尤為突出，電動機、齒輪轉動部件、伺服機械部件、液壓和氣動啟動器開關或人工操作的設備，都會由于移動、轉動而產生微粒、粉塵。

五、未經過濾的送風

在正常情況下，潔凈室內的高效過濾器都會進行嚴格的驗收檢測，此時，送風系統不存在未經過濾而進入潔凈室的空氣。但值得注意的是，在生產過程中如未按操作規章不慎觸及過濾器紙芯、或是高效過濾器支撐框架因振動或是密封膠墊老化、變質而致使高效過濾器與框架接觸面的密封墊或膠條出現裂隙，從而泄漏未經過濾的空氣，污染潔凈室，這也是日常監測工作關注的重點。